微小硬さ試験機 HM-114 （株）アカシ製（現：（株）ミツトヨ）
装置写真
試験力：0.490 N又は0.245 N（皮膜が薄いあるいは比較的軟質の皮膜）
測定回数：3回以上の繰返し試験の平均値
皮膜を垂直に埋め込み、皮膜断面を研磨して、ダイヤモンドの圧子を
皮膜断面に押し込み、表面に残ったくぼみの表面積から皮膜の硬さを調べます。
試験力は最小0.0098 Nまで設定できますが、不確かさが少ない測定を
実施するには、皮膜厚さは10 μm以上必要です。
| マイクロビッカース硬さ試験 | |
| 使用装置 | 自動研磨機エコメット2／オートメット2 ビューラーITW ジャパン（株）製 微小硬さ試験機 HM-114 （株）アカシ製（現：（株）ミツトヨ） |
装置写真 |
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| 試験規格 | JIS H 8603、JIS Z 2244 |
| 主な試験条件 | 測定位置：皮膜断面の中央又は素地側 試験力：0.490 N又は0.245 N（皮膜が薄いあるいは比較的軟質の皮膜） 測定回数：3回以上の繰返し試験の平均値 |
| 試験片 | 15 mm程度の試験片を切り出して、埋め込み試料を作製します。 |
| 特徴 | 皮膜を垂直に埋め込み、皮膜断面を研磨して、ダイヤモンドの圧子を 皮膜断面に押し込み、表面に残ったくぼみの表面積から皮膜の硬さを調べます。 試験力は最小0.0098 Nまで設定できますが、不確かさが少ない測定を 実施するには、皮膜厚さは10 μm以上必要です。 |
| 株式会社アルミ表面技術研究所 試験センター | |